セミコン・ジャパン 2013(SEMICON Japan 2013)が12月4日から6日まで開催されます。
各種生産工程で求められる高精度で安定性の高い局所空調。
特許『ヒートポンプバランス制御』を搭載し、省エネルギーと高精度空調を極限まで追求したオリオンの次世代空調機を実演展示します。
局所精密空調機から恒温・恒湿室、クリーンルーム、ドライルーム、そしてチラー搭載型の複合型精密空調機まで、
装置・工程・空間に合わせた高精度・省エネ空調をオリオンの独自技術で対応します。
出展製品
・省エネ精密空調システム
・低湿型省エネ精密空調機
・チラーと省エネ精密空調機の複合ユニット