局所精密空調による省エネのご提案

限られた空間を高品質に。

半導体、液晶・太陽電池パネルなどの生産工場に設備される装置・生産工程・検査工程・空間には、高精密で安定性の高い空調が求められます。 この要求に対し全体空調で対応すると莫大な経費と維持費が必要となります。
オリオンは、局所的に高品質な空間を造り出し、限られたエネルギーを最小限に活用する高精密空調システムをご提案します。

納入事例

恒温恒湿室
測定機校正検査用 恒温恒湿室
測定機校正検査用
機種:PAP20A-KR プレナムチャンバー付
局所空調ブース
研究用施設 局所空調ブース
研究施設
機種:PAP20A-KR
加湿器・純水器・本機(室内機)・コントローラ
局所精密空調
光学系装置 局所精密空調
光学系装置
機種:PAP03B-SPR
オールフレッシュ仕様、ドレンタンク内蔵
PAP 1 台で装置内 2 ヵ所を温調
局所空調ブース
光学研究 局所空調ブース
光学研究
機種:PAP20B1-W
オールフレッシュ仕様
風量調整は送風機インバータ制御+シャッター
ブース内吹き出し口にはソックフィルターを使用
クリーンルーム温調
植物培養室用 クリーンルーム温調
植物培養室の精密空調
機種:PAP20A-R
HEPA フィルタ搭載
クリーンルーム温調
研究施設 クリーンルーム
研究施設
機種:PAP40B-R
吸込み口消音チャンバー付
HEPA フィルタ搭載
恒温室
超精密加工研究用 恒温室
超精密加工研究用
機種:PAP40B-W
吹出し温度精度±0.05℃仕様
恒温ブース
開発研究用 恒温ブース
開発研究用
機種:PAP05A1
室内吹出し口はソックダクト使用
低湿空調
素材研究開発用 セミドライルーム
素材研究開発用 セミドライルーム
機種:PAP20A-F
エンジンベンチテスト
エンジンベンチテスト
機種:PAP40B-W
防振架台付き
恒温検査室
恒温検査室
製品出荷前検査ルーム用
機種:PAP40C-R
恒温室
精密加工用恒温室
精密加工用
機種:PAP40B-W
恒温室
検査用恒温室
3D プリンター室
機種:PAP40C-R
恒温恒湿室
恒温恒湿室
プリント基板試験用
特注製作品
恒温恒湿室
機器評価試験計測用 恒温恒湿室
機器評価試験、計測用
機種:PAP40C-KR
精密空調機を断熱パネル開口部にはめ込んだ設置例
恒温恒湿 クリーンルーム
精密電子機器組立工程 クリーンルーム
精密電子機器組立工程のクリーンルーム用
機種:PAP80B-KR
背面吸込ユニット仕様

用途事例

あらゆる装置の局所空調に対応します。

露光装置(ステッパー)
露光装置(ステッパー)
露光装置では数十 nm 〜 百数十 nmという微細な電極パターンをシリコンやガラス基板上に書き込んでいますが、温湿度、クリーン度ともに非常に高レベルの空調管理を要求されます。
スピンコータ
スピンコータ
スピンコータは半導体製造工程において成膜されたウエハにレジスト液を塗布したり、CD、DVD、BD などの光記録ディスク製造において、光ディスク記録膜を塗布する装置ですが、ナノ単位での極めて均一に塗布するため温湿度の変化による粘度変化は命取りです。常に温湿度を管理し品質の安定を図ることが必要になります。
液晶ガラス基板精密温調
液晶ガラス基板精密温調
液晶製造工程のおいて、ガラス基板自体の温度変化による伸縮や、静電気発生によるトラブルを回避するため、精密な環境空間の温度、もしくは温湿度管理を行っています。
クリーム半田印刷機(スクリーン印刷機)
クリーム半田印刷機(スクリーン印刷機)
クリーム半田印刷機はプリント基板に半田塗布を行う装置ですが、通常はメタルマスクと呼ばれる薄さが約 100〜 300 ミクロン程度の金属板を通し、スクリーン印刷します。粉末の半田にフラックスを加え適度な粘度を持たせていますが、温度の影響でうまく塗布できなかったり、湿度の影響で静電気が発生する場合もあり、温湿度管理が必要となります。
ソーラーシミュレーター
ソーラーシミュレーター
擬似太陽光を発生させ太陽電池の特性を評価する試験装置です。光源ランプの発熱を抑え測定条件を安定させるために温度管理が必要になります。
精密加工機
精密加工機
現在の超精密加工機においては、サブミクロンオーダーは当たり前で、さらにナノ単位の要求まで求められています。わずかな温度変化により装置及びワークの伸縮が発生してしまい、限りない温度制御精度の追及がされています。
プリント基板ストッカー
プリント基板ストッカー
クリーム半田印刷の前工程でプリント基板を一定の温湿度で管理します。プリント基板は熱特性が悪いため保管温度を管理することにより、半田不良の歩留まり防止となり品質向上に効果があります。
電子顕微鏡
電子顕微鏡
電子顕微鏡の分解能は 0.1nm 程度にもなり、その設置環境は一定の温湿度範囲を求められます。より信頼性の高い分析結果を得るために環境を整えることは必須条件といえます。
打錠機
打錠機
粉末を扱いやすい形状に処理する『粉末処理技術』は、今やあらゆる業界において必要不可欠なものとなってきています。打錠機( 錠剤機ともいいます) は、粉末を固形化するための成型機で、装置内を恒温・低湿の環境にする必要があります。
三次元測定器
三次元測定器
三次元測定器は最小目盛が 0.0005 〜 0.00001mm と高精度であり、その測定精度を上げるためには設置周囲環境の安定が求められます。
クロマトグラフ
クロマトグラフ
クロマトグラフとは、試料中の各成分の含有量を測定する機器です。
測定感度は PPM(100 万分の 1) オーダーから PPQ(1,000 兆分の 1) レベルにまで及び、特に生化学、医薬品、食品の分野でその強みを発揮しています。高レベルへの環境改善がより信頼性の高い結果を生みます。
分注装置
分注装置
分注装置は生物学、化学、医療の分野で、非常に多く使用されています。温湿度管理により、精度向上が図れます。
電子天秤
電子天秤
現在、分析化学での質量測定は、ほとんど電子天秤によって行なわれています。
温湿度変化による微妙な変化を防止し、安定した測定結果を得ることができます。
ドラフト
ドラフト
ドラフト(ドラフトチャンバー)内の吸気の温湿度管理に使用されます